SPACEA röð af legum fyrir hreint herbergi notast við núlllosun. Með því að notfæra sér sértækar tækni hefur forritum sem SPACEA röð af legum er hægt að nota verið stækkað til að fela í sér háhita rekstrarskilyrði í venjulegu andrúmslofti og lofttæmisumhverfi.
LG2 / LGU hreinar smurpakkningar
LG2 / LGU hrein fitupakkað ryðfríu stáli legur henta fyrir hreint umhverfi í venjulegu andrúmslofti við stofuhita.
DL2 hrein smurpakkningar
DL2 hrein fitupakkað ryðfríu stáli legur henta fyrir hreint umhverfi frá venjulegu andrúmslofti upp í tómarúm.
Hreint smurefni DFO legur (E-DFO, V-DFO)
DFO legur eru með nýjung: V-DFO notar smurolíuhúð á flúorolíu og E-DFO notar kolvetnis smurolíuhúð með lágum gufuþrýstingi.
Þessar legur eru hentugar til notkunar í hreinu umhverfi frá venjulegu andrúmslofti upp í tómarúm.
Þessar legur eru hentugar til notkunar í hreinu umhverfi frá venjulegu andrúmslofti upp í tómarúm.
YS legur með MoS 2 sjálfsmurandi búrum
YS legur fyrir hreint umhverfi eru með nýlega þróaðri smurningu búr sem skilar mikilli hreinleika og langan líftíma. Þessar legur henta fyrir hreint umhverfi frá venjulegu andrúmslofti upp í tómarúm.